使用流體 真空氣體
連接口徑 Ø4 mm
CV值 0.004
壓力範圍 -1 ~ -100 kpa
溫度範圍 0~50℃
備註  輸出側為消耗空氣的場合,壓力會變動。
使用流體 空氣
連接口徑 Ø4 mm
CV值 0.004 ~0.007
壓力範圍 0.05 ~ 9 kgf/cm²
溫度範圍 0~50℃
備註 輸出側為消耗空氣的場合,壓力會變動。