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基本選型
選定型號
機種式樣
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MFCC500 : 高精度流量控制器
機種規格
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001 : 最大流量 100 SCCM
002 : 最大流量 200 SCCM
005 : 最大流量 500 SCCM
010 : 最大流量 1 SLM
020 : 最大流量 2 SLM
050 : 最大流量 5 SLM
100 : 最大流量 10 SLM
200 : 最大流量 20 SLM
A01 : 最大流量 10 SCCM
A02 : 最大流量 20 SCCM
A05 : 最大流量 50 SCCM
連接口徑
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無記號 : G1/4" 內螺紋
C08 : Ø 8 mm 快插
P01 : 卡套 1/8"
P02 : 卡套 1/8"
PD6 : 卡套 Ø 8 mm
PD8 : 卡套 Ø 6 mm
VC02 : VCR 1/4"
輸出訊號
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ARS4 : 4 ~ 20 mA 輸出&RS485通訊
氣體種類
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無記號 : 空氣
C : 二氧化碳
CH : 甲烷
E : 氦氣
H : 氫氣
N : 氮氣
O : 氧氣
R : 氬氣
觸動型式
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D : 觸控螢幕
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