使用流體 真空氣體
盤徑(mm) Ø6、Ø8、Ø10、Ø15、Ø20、Ø30、Ø40、Ø50、Ø60、Ø80
緩衝行程 3、4、5、6、10、15、30 mm
材質 NBR、矽膠、防靜電橡膠、低阻抗橡膠
溫度範圍 -26 ~ 180℃